株式会社フィッシャー・インストルメンツ

蛍光X線測定装置『X-RAY XDV-μ WAFER』

最終更新日: 2024-03-22 14:34:04.0
ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別設計された蛍光X線式測定器!

『FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μWAFER』は、ポリキャピラリーレンズ搭載の蛍光X線測定装置です。

ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別に設計された
モデルです。

さまざまな測定における理想的な励起条件を作り出すために、電動式で
切り替え可能な一次フィルターを採用しています。

【特長】
■ユーザーフレンドリーな構造
■革新的なポリキャピラリーレンズを搭載
■高精度で高分解能な検出感度を実現
■再校正に必要な時間や労力を大幅に削減可能
■簡単に膜厚測定と素材分析ができる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様(抜粋)】
■電源:AC115VまたはMAC230V 50/60Hz
■消費電力:最大120W
■保護クラス:IP40
■外寸:幅680x900x高690mm
■重量:約130kg

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【応用例】
■エレクトロニクス産業や半導体産業などのウェハーの測定
■薄膜コーティングの分析 (例)<0.1pmのAuやPd
■品質管理などにおける自動測定
■多層膜コーティングの測定

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