最終更新日:
2023-09-19 09:44:44.0
8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。
ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。
基本情報
・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
・製品のクリーン度はClass 1。
フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。
・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。
ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。
・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | HIWIN ハイウィン ウエハ ロードポート |
| 用途／実績例 | フォトリソグラフィー、エッチング、 CVD、 PVD、洗浄、検査など様々な半導体プロセス装置に。 |
お問い合わせ
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ハイウィン株式会社
