ハイウィン株式会社

HIWIN ウエハロードポート

最終更新日: 2023/09/19
8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。


基本情報

・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。

・製品のクリーン度はClass 1。
 フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。

・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。
 ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。

・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
 ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 HIWIN ハイウィン ウエハ ロードポート 
用途/実績例 フォトリソグラフィー、エッチング、 CVD、 PVD、洗浄、検査など様々な半導体プロセス装置に。

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