ハイウィン株式会社

HIWINウエハアライナー

最終更新日: 2023/09/19
高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現! 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】

ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。
内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。
インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載し、透明、半透明及び不透明等の物の輪郭が検知できます。直径最小2インチから、最大12インチまでのウエハ、ガラス等の対応ができます。

基本情報

・2-12インチ対応のラインアップ
・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能
・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1mmの実現が可能
・クリーン度Class 1

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 HIWIN ハイウィン ウエハ搬送 ロボット DDモータ アライナー
用途/実績例 半導体業界(ウエハ)、LED業界(サファイア基板)、光電子業界(ガラス)等のアライメントに

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