最終更新日:
2020-08-21 10:14:40.0
元素同定を行うEELS分析により、物質の結合状態の比較が可能です！
当社では、分析解析・信頼性評価サービスなどを行っております。
EELS分析とEDS分析は、TEM試料に加速した電子を照射することで
元素同定を行う分析手法です。
「異なるカーボン膜」の事例では、状態分析が特長である
EELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行いました。
EDS分析ではスペクトルの比較からBottom膜のみN,Oを微量に検出。
EELS分析では2つのSpectrumのショルダー形状が違うことから
有機膜に配合されているN,OとCの結合状態を比較することが可能です。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【EELS分析とEDS分析との比較】
<EELS>
■分析に使用するパラメータ：エネルギー損失電子
■エネルギー分解能：1eV以下
■長所：状態分析軽元素分析（Li,B）
■短所：広範囲の元素を同時分析が困難
■測定時間：5s
■TEM試料厚：約50nm以下
<EDS>
■分析に使用するパラメータ：特性X線
■エネルギー分解能：100eV前後
■長所：全元素についての分析
■短所：近接するエネルギーを持つ元素のピーク分離が困難
■測定時間：30s
■TEM試料厚：約300nm以下
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