株式会社アイテス

EELS分析手法による膜質評価

最終更新日: 2023-01-12 17:19:00.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

EELS分析手法による膜質評価
EELS分析手法による膜質評価 製品画像
【EELS分析とEDS分析との比較】
<EELS>
■分析に使用するパラメータ:エネルギー損失電子
■エネルギー分解能:1eV以下
■長所:状態分析軽元素分析(Li,B)
■短所:広範囲の元素を同時分析が困難
■測定時間:5s
■TEM試料厚:約50nm以下
<EDS>
■分析に使用するパラメータ:特性X線
■エネルギー分解能:100eV前後
■長所:全元素についての分析
■短所:近接するエネルギーを持つ元素のピーク分離が困難
■測定時間:30s
■TEM試料厚:約300nm以下

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