最終更新日:
2020-12-29 14:04:12.0
故障箇所→拡散層評価を含めた物理解析/化学分析までスルー対応いたします!
株式会社アイテスでは、パワー半導体の解析サービスを承っております。
当社は日本IBM野洲事業所の品質保証部門から1993年に分離独立して以来、
独自の分析・解析技術を培ってきました。
Si半導体だけでなく、話題のワイドバンドギャップ半導体も対応可能です。
【特長】
■OBIRCH解析ではSiだけでなく、SiCやGaNデバイスにも対応
■表裏どちらからでもFIB加工可能
■PN接合部に形成された空乏層を可視化
■EDS、EELS分析といった元素分析も対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【故障箇所特定から拡散層評価や結晶構造などの物理解析まで対応】
■裏面発光/ OBIRCH解析による故障箇所特定
■故障箇所への高精度位置特定、FIB加工
■不良箇所のFIB/LV-SEM観察、EBIC解析による拡散層形状評価
■TEM観察による結晶構造観察、元素分析
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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