株式会社アイテス

卓上型SEM(電子顕微鏡)『TM3030Plus』

最終更新日: 2020-11-11 17:25:41.0
試料の観察や元素分析が可能!半導体、電子部品分野のみならず、ライフサイエンス、生物分野でも活用できます

当社では、日立ハイテク社製の卓上型SEM(電子顕微鏡)『TM3030Plus』を
取り扱っています。

SEM観察が一般化されて半世紀。様々な分野にてSEM観察は重要な観察手段と
なっています。

卓上型SEMの"帯電軽減モード"なら、FE-SEMでは観察できない試料も観察、
分析が可能。半導体、電子部品分野のみならず、ライフサイエンス、
生物分野でも活用できます。

【特長】
■半導体、電子部品などの導電性のある試料は主に通常/導電体モードで
 SEM観察がお勧め
■プラスチック、紙、ゴム、セラミックスなど導電性のない試料や
 水分・油分を含む生物、などの観察は表面・通常/帯電防止モードでの
 SEM観察がお勧め

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様】
■加速電圧:5kV(表面)、15kV(通常、分析)
■最大試料サイズ:70mm
■最大試料厚さ:50mm
■電子銃:タングステンフィラメント
■検出器
・高感度半導体型反射電子検出器
・高感度低真空二次電子検出器
■観察モード
・導電体(分析モード)
・標準
・帯電軽減(低真空)
■分析装置:BrukerAXS社製 QUANTAX Xflash 430H

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■半導体、電子部品分野のみならず、ライフサイエンス、生物分野

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