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関連情報
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【Cu板における圧縮前後での変化観察】
■IQマップ
■GRODマップ
■IPFマップ(Axis3方向)
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■IQマップ
■GRODマップ
■IPFマップ(Axis3方向)
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【仕様】
■加速電圧:5kV(表面)、15kV(通常、分析)
■最大試料サイズ:70mm
■最大試料厚さ:50mm
■電子銃:タングステンフィラメント
■検出器
・高感度半導体型反射電子検出器
・高感度低真空二次電子検出器
■観察モード
・導電体(分析モード)
・標準
・帯電軽減(低真空)
■分析装置:BrukerAXS社製 QUANTAX Xflash 430H
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■加速電圧:5kV(表面)、15kV(通常、分析)
■最大試料サイズ:70mm
■最大試料厚さ:50mm
■電子銃:タングステンフィラメント
■検出器
・高感度半導体型反射電子検出器
・高感度低真空二次電子検出器
■観察モード
・導電体(分析モード)
・標準
・帯電軽減(低真空)
■分析装置:BrukerAXS社製 QUANTAX Xflash 430H
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【EDX分析結果】
■加速10kVではAuめっき下層のNiは検出されていないが、加速電圧12kV以上だと
下層のNiが検出されている
■加速電圧を上げると何故、下層の情報を検出するのか、モンテカルロ
シミュレーションにて確認
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■加速10kVではAuめっき下層のNiは検出されていないが、加速電圧12kV以上だと
下層のNiが検出されている
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シミュレーションにて確認
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【EDX(EDS)の特長】
■微小領域の元素分析
■バルク試料の分析
■SEMとの併用が可能
■元素マッピング
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■バルク試料の分析
■SEMとの併用が可能
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【その他のEDSによる分析】
■線分析
・SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイルすることができる
・層状に異なる組成が存在している試料に対し有効な場合がある
■面分析
・各元素の分布を2次元的に見ることができる
・いくつかの元素を重ね合わせた画像を表示することも可能
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■線分析
・SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイルすることができる
・層状に異なる組成が存在している試料に対し有効な場合がある
■面分析
・各元素の分布を2次元的に見ることができる
・いくつかの元素を重ね合わせた画像を表示することも可能
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【その他のEDSによる分析の特長】
■面分析
・各元素の分布を2次元的に見ることができる
・複数の元素を重ね合わせた画像を表示することも可能
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■面分析
・各元素の分布を2次元的に見ることができる
・複数の元素を重ね合わせた画像を表示することも可能
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株式会社アイテス