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関連情報
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【傾斜観察概要】
<デジタルマイクロスコープ:KEYENCE VHX-5000(使用レンズVH-Z50L)使用>
■-60°~+90°まで傾斜可能なレンズ機構により、実装部品の
側面などをそのまま観察することが可能
■深度合成機能を持つデジタルマイクロスコープにより、
サンプル全体に焦点のあった合成画像が取得できる
■電動ステージにより、高倍での連結画像の作成が可能
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<デジタルマイクロスコープ:KEYENCE VHX-5000(使用レンズVH-Z50L)使用>
■-60°~+90°まで傾斜可能なレンズ機構により、実装部品の
側面などをそのまま観察することが可能
■深度合成機能を持つデジタルマイクロスコープにより、
サンプル全体に焦点のあった合成画像が取得できる
■電動ステージにより、高倍での連結画像の作成が可能
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【仕様】
■加速電圧:5kV(表面)、15kV(通常、分析)
■最大試料サイズ:70mm
■最大試料厚さ:50mm
■電子銃:タングステンフィラメント
■検出器
・高感度半導体型反射電子検出器
・高感度低真空二次電子検出器
■観察モード
・導電体(分析モード)
・標準
・帯電軽減(低真空)
■分析装置:BrukerAXS社製 QUANTAX Xflash 430H
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■加速電圧:5kV(表面)、15kV(通常、分析)
■最大試料サイズ:70mm
■最大試料厚さ:50mm
■電子銃:タングステンフィラメント
■検出器
・高感度半導体型反射電子検出器
・高感度低真空二次電子検出器
■観察モード
・導電体(分析モード)
・標準
・帯電軽減(低真空)
■分析装置:BrukerAXS社製 QUANTAX Xflash 430H
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【EDX分析結果】
■加速10kVではAuめっき下層のNiは検出されていないが、加速電圧12kV以上だと
下層のNiが検出されている
■加速電圧を上げると何故、下層の情報を検出するのか、モンテカルロ
シミュレーションにて確認
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■加速10kVではAuめっき下層のNiは検出されていないが、加速電圧12kV以上だと
下層のNiが検出されている
■加速電圧を上げると何故、下層の情報を検出するのか、モンテカルロ
シミュレーションにて確認
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株式会社アイテス