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SEMの観察条件による見え方の違い

最終更新日: 2021-04-06 13:12:03.0
各種条件下で撮影したSEM像をご紹介!SEMの観察条件による見え方の違いについて解説

SEM観察は、試料表面に照射した電子が試料の極表層で散乱することで
発生する二次電子や反射電子を検出器で捉え、像としてモニターに
映し出しています。

電子を捉える検出器には種類があり、それぞれの特長を生かした像が
得られ、加速電圧を変えることで見え方も変わります。

当資料では、各種条件下で撮影したSEM像をご紹介。
ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■反射電子像
・高加速電圧による反射電子像(AsB検出器)
・低加速電圧による反射電子像(EsB検出器)
■二次電子像
・加速電圧による見え方の違い
・検出器の位置による見え方の違い

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