最終更新日:
2022-05-20 13:41:25.0
各元素の分布を2次元的に見ることが可能！多層状の試料の分析の際にも有効な場合があります
Cuパッドの接合界面におけるEDSによる分析事例をご紹介いたします。
金属間化合物の定性分析(点分析)と半定量分析では、各特性X線の強度
(カウント数)を調べることで含有元素の濃度を算出。金属間化合物等は
算出された濃度比により、形成された化合物を推定することが可能です。
また線分析では、SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイル
することができるため、分析箇所の元素濃度変化を確認できます。
【EDSによる分析の特長】
■金属間化合物の定性分析(点分析)と半定量分析
・各特性X線の強度(カウント数)を調べることで含有元素の濃度を算出
・金属間化合物等は算出された濃度比により、形成された化合物を推定
■線分析
・SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイルできる
・分析箇所の元素濃度変化を確認することが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他のEDSによる分析の特長】
■面分析
・各元素の分布を2次元的に見ることができる
・複数の元素を重ね合わせた画像を表示することも可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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