最終更新日:
2024-01-16 14:38:45.0
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上。
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上
イワキより、イワキ薬液補充ポンプ CFDシリーズのご紹介です。
■□■特長■□■
■ウエハー洗浄液の濃度管理に
優れた精度で必要最少量の薬液を正確に注入。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。濃度のオーバーシュートを抑え、洗浄液のコストダウンにも貢献します。
■優れた耐食性
接液部品は全てフッ素樹脂（PTFE、PFA、PCTFE）で構成され、強酸、強アルカリ、過酸化水素水などの薬液に対応します。
ポンプ外部は樹脂およびコーティング済みのボルトを使用しています。
■安全設計
圧縮空気を動力とする安全なエアー駆動ベローズポンプです。
サイホン防止機構により、薬液の流出を防ぎます。
CFD-1T-Bは、ベローズ破損を検知するリークセンサを標準装備しています。
■幅広い吐出量範囲
柔軟な設定が行える仕様で、幅広い吐出量範囲をカバーします。
工場出荷時はCFD-1T-B：1mL/shot、CFD-8T-B：8ml/shotに設定されています。
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。
基本情報
【概略仕様】
■型式：CFD-1T-B・CFD-8T-B
■最大吐出量：1mL/shot・8mL/shot
■供給エアー圧力：０.15～0.3MPa
■最大エアー消費量：2.5NL/min注・5.4NL/min注
■最大ストローク数：30spm
■主要材質：PTFE、PFA、PCTFE
■液温範囲：20〜60℃
注：供給エアー圧力0.3MPa、ストローク数30spm、吐出圧力0.05MPaの場合
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | CFD series |
| 用途／実績例 | 詳しくはお問い合わせ下さい。 |
お問い合わせ
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株式会社イワキ
