ウェーハの微粒子(パーティクル)及び金属不純物を除去。Siウェーハの他、SiCやGaNなどの化合物ウェーハの洗浄に好適です。
『Frontier Cleaner シリーズ』は微粒子(パーティクル)及び金属不純物を同時に除去が可能であり、バッチ式洗浄装置や枚葉式洗浄装置対応のウェーハ洗浄液です。
【特徴】
■ 酸系、アルカリ系の洗浄液をラインナップ
■ 金属不純物と微粒子の同時除去が可能
■ ウェーハ表面のマイクロラフネスの増大がない
■ 希釈使用が可能であるため、コストメリットに優れる
■ 室温で使用可能
※詳細は弊社HP又は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
□詳しくはPDF資料や弊社HPをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | Frontier Cleaner シリーズ |
用途/実績例 | お問い合わせください |
関連ダウンロード
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
関東化学株式会社 電子材料事業本部