関東化学株式会社 電子材料事業本部

積層膜エッチング液『KSMFシリーズ』

最終更新日: 2024-04-08 14:24:05.0

  • カタログ

Ti/Al/Ti積層膜のウェットエッチングが可能なAl積層膜エッチング液

Al積層膜を一液で処理可能なエッチング液です。
これまでウェットエッチングが困難だったTi/Al/Ti積層膜にも適用が可能です。

【特徴】
■Ti/Al/Ti積層膜やMo/Al/Mo積層膜を一括でエッチング可能
■KSMF-100はMo/Al/Mo積層膜の他、Mo単膜やAl単膜の低テーパーエッチング液としても使用可能
■KSMF-260はTi/Al/Ti積層膜のテーパーエッチングが可能

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

■KSMF-100: Mo/Al/Mo積層膜エッチング液
■KSMF-150: Mo-Nb/Al/Mo-Nb積層膜エッチング液
■KSMF-260: Ti/Al/Ti積層膜エッチング液

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 KSMFシリーズ
用途/実績例 <適用分野・使用用途例>
*FPD、電子部品、タッチパネルなど
*FPDのTFT電極のパターニングなど

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積層膜エッチング液『KSMFシリーズ』

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