関東化学株式会社 電子材料事業本部

チタンエッチング液『TIシリーズ』

最終更新日: 2024-04-08 14:27:01.0

  • カタログ

各種金属材料との選択エッチングが可能なチタンエッチング液

CuやAu電極のバリア層や密着層の除去において、Tiの選択的なエッチングが可能です。

【特徴】
■TI-8Aは各種金属との選択エッチングが可能であり、TiNやTiWのエッチング液としても使用可能
■TI-101は過酸化水素水を使用せず、CuやAgとの選択エッチングが可能

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

■TI-8A
■TI-101

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 TIシリーズ
用途/実績例 <適用分野・使用用途例>
*MEMS、電子部品、フォトマスク、FPDなど
*CuやAuの密着層のエッチング、IGZO膜上のバリア層のエッチング

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