最終更新日:
2023-03-06 09:32:11.0
ウェハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインライン近赤外分析計でモニタリング!
半導体メーカーではクリーンルーム内のウェットベンチで標準的な洗浄工程を行い、環境を管理し、さらなる汚染を防いでいます。しかし、このような環境では分析装置を設置するためのスペースが非常に限定的であることが一般的です。
試薬を使わず、より安全で効率的、かつ迅速に洗浄液の主要パラメータを同時にモニタリングするには近赤外分光法(NIRS)によるインライン分析が有効です。
オンライン分析計 プロセス分析計 インライン分析計
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
メトロームジャパン株式会社 本社
- 電気化学測定(ポテンショスタット/ガルバノスタット)
- 近赤外分光分析計(NIR)
- ラマン分光計
- 電動ビュレット・手動滴定・精密分注
- カールフィッシャー水分計
- 電位差自動滴定装置
- イオンクロマトグラフ(IC)
- 電気化学分析装置(VA/CVS)
- 酸化安定性試験装置(ランシマット)
- pH/各種滴定用電極
- pH・イオン・導電率計
- 温度滴定
- ピルス 微粒子捕集装置
- 大気汚染物質モニタリング
- オンライン分析装置
- すべての製品・サービス