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プレスリリース:半導体パッケージ向け「角型シリコン基板」を開発 ~世界最大級600mm角の四角形状シリコン基板~

2024-08-21 00:00:00.0  UPDATE
三菱マテリアル株式会社は、高平坦度かつ低表面粗さを実現した世界最大級の四角形状のシリコン基板「角型シリコン基板」を開発しました。

近年注目を集めているチップレット技術を採用した次世代半導体パッケージは、100mm角程度まで大型化が進んでいます。半導体パッケージの製造工程において、半導体チップを配置するキャリア基板に従来のφ300mmシリコンウェーハなどを利用するWLP(Wafer-Level-P…

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