![【分析事例】Si系太陽電池のBSF層の評価 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/7b6/2000026110/IPROS90510810005677264450.jpeg?w=140&h=140)
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カタログ発行日:2023/03/22 断面イメージングSIMSより面内分布のある不純物評価が可能です 表面に凹凸のある太陽電池について、凹凸の影響を避けて面内分布評価を行う方法として、断面加工試料をイメージングSIMSにより評価した事例を紹介します。断面SCMによりp+ Si層と判定された領域では、BとAlが高濃度存在することが分かりました。さらに、ラインプロファイルを用いてドーパント分布を濃度変換し、面内の不均一の度合いを数値化しました。太陽電池以外にもパワーデバイスなどの深い接合評価、トレンチ間・内部の不純物分布評価などに適用できます。
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