一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法

最終更新日: 2019-07-30 09:23:35.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することにより、物質の構成元素や電子構造を分析する方法です
EELS分析における下記の情報を掲載しております。
・原理
・特徴
・適用例
・データ例

関連情報

[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法 製品画像
EELSとは、入射した電子線が試料内の電子を励起する際に失ったエネルギーを測定することで、試料の組成や元素の結合状態を分析する分光法です。

EELSは大きく分けて3つの領域に分けられます。
1:ゼロロス試料と相互作用せずに透過してきた電子、および弾性散乱した電子
2:価電子励起領域30eV以下の低エネルギー側で、プラズモンやバンド間遷移
3:内殻電子励起領域内殻準位からの遷移元素によって異なるため組成分析に用いる

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