EELSとは、入射した電子線が試料内の電子を励起する際に失ったエネルギーを測定することで、試料の組成や元素の結合状態を分析する分光法です。
EELSは大きく分けて3つの領域に分けられます。
1:ゼロロス試料と相互作用せずに透過してきた電子、および弾性散乱した電子
2:価電子励起領域30eV以下の低エネルギー側で、プラズモンやバンド間遷移
3:内殻電子励起領域内殻準位からの遷移元素によって異なるため組成分析に用いる
EELSは大きく分けて3つの領域に分けられます。
1:ゼロロス試料と相互作用せずに透過してきた電子、および弾性散乱した電子
2:価電子励起領域30eV以下の低エネルギー側で、プラズモンやバンド間遷移
3:内殻電子励起領域内殻準位からの遷移元素によって異なるため組成分析に用いる