一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

ロックイン発熱解析法

最終更新日: 2018-10-24 09:36:33.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

ロックイン発熱解析法は、電流経路中の僅かな温度上昇を検出します
ロックイン発熱解析法は、電流経路中の僅かな温度上昇を検出します。

・IR-OBIRCH機能も合わせ持ち、発熱箇所特定後、IR-OBIRCH測定により、故障箇所をさらに絞り込むことができます。
・赤外線を検出するため、エッチングによる開封作業や電極の除去を行うことなく、パッケージのまま電極除去なしに非破壊での故障箇所特定が可能です。
・ロックイン信号を用いることにより高いS/Nで発熱箇所を特定でき、Slice & Viewなど断面解析を行うことができます。

関連情報

ロックイン発熱解析法
ロックイン発熱解析法 製品画像
デバイスの内部で発生する熱を検出し、故障箇所を特定する半導体故障解析装置となります。高感度赤外検出器にて検出した発熱画像と、IRコンフォーカルレーザ顕微鏡で取得した高解像度なパターン画像を重ね合わせて表示することにより、高感度かつ高い位置精度で故障箇所を迅速に特定します。

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