EDXは電子線照射により発生する特性X線をエネルギーで分光し、検出します。特定X線のエネルギーは元素固有なので、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。
最終更新日:
2016-02-18 13:25:02.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
EDXは、電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です
EDS:Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。
多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではSEM付属のEDXについて解説します。
・測定範囲の全エネルギー(B~U)が同時に短時間で測定可能
・検出効率に優れているので、少ないプローブ電流で測定が可能
・特殊な試料を除き、前処理不要で手軽に分析を行える
・未知試料の分析に適している
・クライオホルダーを用いることで凍結・冷却した状態で測定可能
関連情報
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの
で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。
で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。
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