一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価_C0373

最終更新日: 2023-04-07 16:37:11.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/04/07
TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価
大気下におかれた金属銅(Cu)の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。
市販の標準品である「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」粉末をTOF-SIMSにより深さ方向分析を行うことで、各状態に応じて特徴的な分子イオンの取得が可能であることがわかりました。
これらの分子イオンを用いて、金属Cu表面自然酸化膜の深さ方向の状態評価が可能となりました。

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