一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】SiN膜中の金属汚染分析_C0465

最終更新日: 2021-06-10 15:29:06.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/20
ICP-MSによる高感度分析
Siウエハ上のSiN膜(Si3N4)を溶解した溶液中には、着目している不純物金属元素以外に膜由来のSiマトリックスが含まれています。そのため、溶解した溶液そのものでは精度よく高感度分析ができません。
そこで、Siウエハ上のSiN膜を溶解後、別途処理を施すことでSiマトリックスの影響なくSiN膜中不純物金属元素の分析を可能としました。市販品のSiN膜付きSiウエハを用いてICP-MSによる高感度分析を実施した事例を挙げます。

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