一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析_C0502

最終更新日: 2021-06-10 15:54:05.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/22
微小領域を狙った測定が可能
製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。
本資料では、金属部材上に付着した異物の成分をRaman分析により評価した事例をご紹介します。
Ramanはφ約1μmの微小領域の測定が可能であり、狙った箇所の分子構造や結晶構造に関する情報を得られることから、まばらに存在する異物の定性分析に有効です。

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