一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】μm(ミクロン)オーダーのXPS深さ方向分析_C0529

最終更新日: 2021-06-11 10:33:21.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/23
数μmの深さまで深さ方向分析を行います
XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。
XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部材表面の変色の原因調査などに適しています。
本資料ではターボ分子ポンプの羽の変色部について、XPSで評価した事例を紹介します。

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