試料に電子を当て、試料表面から放出される二次電子・反射電子・試料を透過した透過電子(要薄片化)の像を得ることができます。
加速電圧や材料により入射電子の拡がり方が異なり、それに伴い、観察している深さ(電子が出てくる深さ)も変わります。したがって、目的によって最適な加速電圧を選定する必要があります。
加速電圧や材料により入射電子の拡がり方が異なり、それに伴い、観察している深さ(電子が出てくる深さ)も変わります。したがって、目的によって最適な加速電圧を選定する必要があります。
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一般財団法人材料科学技術振興財団 MST