![【クライオSEM分析】液体中微粒子の分散状態を評価 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/163/2000101107/IPROS7700388836200962449.jpg?w=140&h=140)
詳しいデータは第25回インターフェックスジャパンで展示します!
専門の技術スタッフがブース内で丁寧にご説明いたします。
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2021/3/31
FIB:Focused Ion Beam
FIBは、数nm~数百nm径に集束したイオンビームのことで、試料表面を走査させることにより、特定領域を削ったり(スパッタ)、特定領域に炭素(C)・タングステン(W)・プラチナ(Pt)等を成膜することが可能です。また、イオンビームを試料に照射して発生した二次電子を検出するSIM像により、試料の加工形状を認識できます。
・微小領域(数nm~数十μm)のエッチングによる任意形状加工が可能
(通常加工サイズ:~20μm程度)
・SEM・SEM-STEM・TEM像観察用試料作製(特定箇所の断面出しが可能)
・微細パターン(数μm~数十μm)のデポジション薄膜形成が可能(C・W・Ptの成膜)
・高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM(Scanning Ion Microscope)像観察が可能
・SIM像で金属結晶粒(Al, Cu等)の観察が可能
この資料では、適用例や原理、データ例などを紹介しています。
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