一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

デバイスの金属膜中および界面における 金属不純物の評価

最終更新日: 2020-12-15 17:58:50.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2020/12/9
めっきなどの膜中・界面の不純物をTOF-SIMSで評価できます。
成膜装置部品、ターゲット材、めっき液などからデバイス中に不純物が混入し、悪影響を与えるため、表面、膜中や界面の不純物の定性評価が重要です。TOF-SIMSでは下記3つの特徴から一度の測定で表面、膜中や界面に存在する未知の元素を高感度に評価することが可能です。
1. 金属元素の場合、一度の測定でm/z 1から800のイオンを同時に検出できること
2. 数ppmの検出感度が得られること(材料・各イオンにより変動)
3. スパッタガンを用いることで深さ方向の分布を評価できること

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