上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2021/01/28
HAXPESは、XPS(X線光電子分光)の励起光に硬X線を用いた分析手法です。HX-PES、HXPESとも呼ばれます。
高エネルギーなX線励起により通常のXPSよりも数~約10倍深い、50nm程度までのバルク状態評価、ダメージレスな界面の結合状態評価を行うことができます。
この装置はGaKα線源(9.25eV)を搭載した実験室機のため、試料作製から測定までのタイムラグを短縮可能です。
・バルク敏感(~50nm程度)な半定量・状態評価
・非破壊での埋もれた界面の結合状態評価
・深い内殻軌道を用いた評価(XPSで重畳するオージェピークの回避、
分裂のない1s軌道を用いた解析)
GCIB(Gas Cluster Ion Beam)によるスパッタを併用した測定や角度分解測定、Al線源(1.49eV)、中和銃、雰囲気制御機構などのオプションも備えています。
・GCIBによるダメージレスなスパッタクリーニング
・Al線源や角度分解測定を用いた結合状態の深さ方向比較
・雰囲気制御機構を併用した大気非暴露の評価
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
【測定法】質量分析法
【測定法】光電子分光法
【測定法】電子顕微鏡観察・分析
【測定法】振動分光
【測定法】X線回折関連
【測定法】SPM関連
【測定法】故障解析
【測定法】そのほかの測定法
【加工法・処理法】
その他のサービス・サポート情報
【分析事例】LSI・メモリ
【分析事例】光デバイス
【分析事例】太陽電池
【分析事例】燃料電池
【分析事例】ディスプレイ
【分析事例】酸化物半導体
【分析事例】パワーデバイス
【分析事例】電子部品
【分析事例】二次電池
【分析事例】照明
【分析事例】製造装置・部品
【分析事例】バイオテクノロジ
【分析事例】化粧品
【分析事例】食品
【分析事例】医薬品
【分析事例】医療機器
【分析事例】日用品
【分析事例】環境
- 【分析事例】その他
- MSTが出展した展示会の資料
- すべてのカタログ