最終更新日:
2024-04-10 10:29:46.0
プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも用いられています！
「インテグレータレンズ」は、照射面への照度の均一性を高めるために
用いるレンズ(光学系)の総称です。
代表的なものにフライアイレンズ(フライアイインテグレータ)、
ロッドレンズ(ロッドインテグレータ)があります。
プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも
用いられています。
【代表的なレンズ】
■フライアイレンズ(フライアイインテグレータ)
■ロッドレンズ(ロッドインテグレータ)
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基本情報
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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