夏目光学株式会社

プロキシミティ露光とは?

最終更新日: 2024-04-10 10:29:46.0
汚れや傷がつきにくい!レジストに紫外線を照射し、パターンを形成

プロキシミティ露光とは、半導体や液晶などの製造に使われる技術の一つです。

レジスト(光感性樹脂)に紫外線を照射し、パターンを形成します。

その際、レジストとフォトマスク(パターンを形成するための板)の
間に微小な隙間を設け、レジストに光を届けることで、細かなパターンを
形成します。

【メリット】
■マスクとワークが接触しないため汚れや傷がつきにくい
■フォトリソグラフィーと比較してパターン形成に必要な時間が短くて
 済むため生産性が高い

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

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納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■半導体や液晶などの製造

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