最終更新日:
2024-04-10 10:29:46.0
汚れや傷がつきにくい!レジストに紫外線を照射し、パターンを形成
プロキシミティ露光とは、半導体や液晶などの製造に使われる技術の一つです。
レジスト(光感性樹脂)に紫外線を照射し、パターンを形成します。
その際、レジストとフォトマスク(パターンを形成するための板)の
間に微小な隙間を設け、レジストに光を届けることで、細かなパターンを
形成します。
【メリット】
■マスクとワークが接触しないため汚れや傷がつきにくい
■フォトリソグラフィーと比較してパターン形成に必要な時間が短くて
済むため生産性が高い
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基本情報
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用途/実績例 | 【用途】 ■半導体や液晶などの製造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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