夏目光学株式会社

リソグラフィとは?

最終更新日: 2024-04-10 10:29:46.0
フォトレジストの塗布、露光、現象の3つのステップで構成されます。

リソグラフィとは、半導体製造においてウェハに回路パターンを描く
工程のことです。

この工程は、半導体の性能やコストに大きな影響を与えるため、
常に技術革新が求められています。

現在主流となっているリソグラフィ技術は、「液浸式アーゴンフッ素(ArF)
エキシマレーザー」です。

【基本原理】
■フォトレジストの塗布
■露光
■現象

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