「エッチング」は、光学素子の表面に微細なパターンを
形成するために用いられる技術です。
ドライエッチングとウェットエッチングの二種類があり、
どちらの方法も、マスクと呼ばれるパターンを持った薄膜を光学素子に
貼り付けて、除去したい部分と残したい部分を区別します。
また、エッチングによって、光学素子のサイズや形状を微調整したり、
表面の粗さや平坦度を改善したりすることもできます。
【特長】
■レンズやミラーなどの反射率や透過率を調整できる
■回折格子や位相板などの特殊な光学効果を発生させることができる
■光学素子のサイズや形状を微調整できる
■表面の粗さや平坦度を改善できる
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基本情報
【種類】
■ドライエッチング:プラズマやイオンビームなどの高エネルギー粒子を光学素子に照射して、
表面の材料を除去する方法
■ウェットエッチング:酸やアルカリなどの液体の薬品を光学素子に浸漬して、
表面の材料を溶解する方法
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