様々なタイプの蒸着源をご用意しております
小面積用蒸着源、イオンアシスト小面積用蒸着源、大面積用蒸着源、3源蒸着源、原子状水素源、蒸着源用電源、大面積用蒸着電源、各種蒸着器用ルツボなどをラインナップ。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
【ラインナップ】
○小面積用蒸着源 EFM2
→蒸着面積：φ5～φ20mm
→温度領域：160～3300℃
○小面積用蒸着源 EFM3
→蒸着面積：φ5～φ20mm
→温度領域：160～3300℃
○イオンアシスト小面積用蒸着源 EFM3i
→蒸着面積：φ5～φ20mm
→温度領域：160～3300℃
○大面積用蒸着源 EFM4
→蒸着面積：φ10～φ50mm
→温度領域：160～3300℃
○3源蒸着源 Triple-EFM
→蒸着面積：φ8.5、11、15mm
→動作距離：約93±10mm
○大面積用蒸着源 EFM6
→蒸着面積：φ50mm以上
→坩堝容量：最大10ccm
○原子状水素源 EFM-H
→加速電圧：0-1keV(100mA)
→ビーム照射角：±6～±15°（電力に依存）
○蒸着源用電源 EVC100L/100
○蒸着源用電源 EVC300/300i
○大面積用蒸着電源 EVC1200
○各種蒸着器用ルツボ
→ルツボ材質：タングステン、タンタルなど他
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○小面積用蒸着源 EFM2
→蒸着面積：φ5～φ20mm
→温度領域：160～3300℃
○小面積用蒸着源 EFM3
→蒸着面積：φ5～φ20mm
→温度領域：160～3300℃
○イオンアシスト小面積用蒸着源 EFM3i
→蒸着面積：φ5～φ20mm
→温度領域：160～3300℃
○大面積用蒸着源 EFM4
→蒸着面積：φ10～φ50mm
→温度領域：160～3300℃
○3源蒸着源 Triple-EFM
→蒸着面積：φ8.5、11、15mm
→動作距離：約93±10mm
○大面積用蒸着源 EFM6
→蒸着面積：φ50mm以上
→坩堝容量：最大10ccm
○原子状水素源 EFM-H
→加速電圧：0-1keV(100mA)
→ビーム照射角：±6～±15°（電力に依存）
○蒸着源用電源 EVC100L/100
○蒸着源用電源 EVC300/300i
○大面積用蒸着電源 EVC1200
○各種蒸着器用ルツボ
→ルツボ材質：タングステン、タンタルなど他
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シエンタ オミクロン株式会社
