CARBON SUBLIMATION SOURCE SUKOの製品情報となります
The Carbon Sublimation Source - SUKO - was developed for growth of Si-C and Si-Ge-C alloys in silicon MBE. The SUKO provides a very clean and constant flux at a low deposition rate up to 2 Å/min. A maximum total layer thickness of 5 μm C with one filament is reported.
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シエンタ オミクロン株式会社