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【ポジショニングに最適!】ピエゾフレクシャーステージ/高速スキャニングシステム

最終更新日: 2014-06-26 14:25:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

【ポジショニング・ウエハー検査・顕微鏡】精密位置決め装置ならお任せください。長寿命化セラミック採用のピエゾならPI!
・最大1500μmストローク
・1ナノメートル以下の分解能を誇る静電容量センサーを内蔵
・大口径を有する一体構造型XY、XYZステージ
・摩擦及び粘着はありません
・超高真空、ベーキング可
・顕微鏡対物レンズ用ポジショナー
・顕微鏡レボルバー用ポジショナー
・最大6軸一体型 (1台のステージで1軸から多軸まで対応)
・バックラッシュもありません
・疲労、磨耗もありません
・非磁性対応

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