最終更新日:
2024-10-10 13:54:55.0
最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。
P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、
オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、
最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。
【特徴】
○1軸および3軸バージョン
○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現
（オープンループは～240μm/2.4mrad）
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○センター開口部66 x 66mm
○静電容量センサーによる高いリニアリティ
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基本情報
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| 型番・ブランド名 | P-518、P-528、P-558ピエゾZ/チップ/チルトステージ |
| 用途／実績例 | 応用例 ・各種計測 ・干渉計 ・光学 ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工 |
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