ピュアオンジャパン株式会社

【IRINO】金属複合材研削パッド

最終更新日: 2024-11-19 17:15:19.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/10/25
SiCなどの難加工製品に高い研磨レートと優れた面仕上がりを実現。今ある研磨装置の定盤に貼るだけ使えます。
ピュアオンでは、IRINO-PROSiCとダイヤモンドスラリーPURE-DS-RTを組み合わせてSiCウエハを高速研削することで、従来の加工方法と比較して大幅なコストカットを実現するラピッドシニング(Rapid Thinning)プロセスを提案しています。この革新的な組み合わせは優れた表面品質を実現するだけでなく、高い加工レートを保証し、CMPプロセスへのスムーズな移行が求められる用途に適しています。

背面は自己粘着テープとなっているため、IRINO-PROSiCは既存の金属定盤に簡単に貼り付けでき、SiC研削工具の使いやすさと効率を高めます。IRINO-PROSiCは、優れた表面品質と高い加工レートのどちらを求める場合でも、高度なSiC加工に最適な製品です。

・直径 200~1,200mm
・ボンド材 レジンボンド

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