株式会社クオルテック

【故障解析事例】アバランシェ破壊の再現実験

最終更新日: 2023-08-31 16:33:31.0
内部に空洞が形成!Al電極、はんだを溶かした様子が確認できた事例をご紹介

アバランシェ破壊の実験環境を社内で構築し、再現実験を行った
事例をご紹介いたします。

ボンディングワイヤの間に形成されたクレーターに注目し、
断面観察と元素マッピングを行いました。

その結果、内部に空洞が形成され、Al電極、はんだを溶かした
様子が確認できました。

【事例概要】
■再現実験サンプル
・RC-IGBT(Reverse-Conducting IGBT)
■非破壊解析
・X線観察、超音波探傷
■詳細解析
・断面研磨、FE-SEM、EDS

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