プラズマインジケータPLAZMARK総合カタログ製品カタログ | カタログ

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【仕様】
■対応ガス：O2、N2、Air
■感度：No.41(高感度)、No42(低感度)
■構成
　本体：クリーンペーパー
　検知部：有機色材、レジン
■サイズ
　・ロングラベル
　　本体：35×300×0.2 mm
　　検知部：300×15 mm
　・シート
　　本体：210×300×0.2 mm
　　検知部：190×300 mm

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

正確なプラズマ測定ですか？プラズマ測定におけるお悩み解決事例

【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】

♦プラズマを使う環境を教えてください。
　　１．真空（減圧）
　　２．大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
　　１．100℃以下
　　２．100～200℃
　　３．200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
　　１．アルゴン
　　２．酸素
　　３．それ以外

※どうぞお気軽に、サンプルお申し付けください。

プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK ウエハ型』

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PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用

【仕様】
［PLAZMARK O2クリーニング用］
■対応ガス：O2をはじめとするラジカル主体のプラズマ用
■感度：No.1(高感度)
■形状：カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性：100℃
■構成：本体　PETフィルム、検知部　有機色材、レジン
■サイズ：(カード・ラベル)本体　20×70×0.2mm、検知部　φ11mm
　　　　　(シート)本体　210×297×0.2mm、検知部　190×290mm

［PLAZMARK Arクリーニング用］
■対応ガス：Arをはじめとするイオン主体のプラズマ用
■感度：No.21(高感度)
■形状：カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性：100℃
■構成：本体　PETフィルム、検知部　有機色材、レジン
■サイズ：(カード・ラベル)本体　20×70×0.2mm、検知部　φ11mm
　　　　　(シート)本体　210×297×0.2mm、検知部　190×290mm

　

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プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK 耐熱性』

【仕様】
■対応ガス：Ar、O2、H2、CF4、SF6、Cl2
■感度：No.101(高感度)、No.102(低感度)
■構成
　本体：ポリイミド
　検知部：無機色材、レジン
■サイズ
　本体：16 mm×25 mm×80μm
　検知部：φ10 mm
■入数：10枚

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プラズマインジケータ【PLAZMARK　Arクリーニング用】

【仕様】
■構成
・本体：PET
・検知部：有機色材、レジン、接着層（ラベルのみ）
■サイズ（カード、ラベル/シート）
・本体：20×70×0.2mm/A4サイズ(0.2mm厚)
・検知部:φ11mm/190×290mm

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

PLAZMARK「耐熱性」に高感度タイプ

■高い変色感度を実現。
現行ラインナップ品（型番：No.102 低感度品）に比較して1.5～2 倍の感度を実現しております。下図はプラズマ処理時間に対するインジケータの変色色差の変化ですが、現行品（No.102）に比較して短時間で大きく変色していることがわかります。（グラフ縦軸の変色度合を数値化する
ためには別途、色差計が必要です。）
■現行品の特長はそのまま踏襲。
・耐熱性：200℃
・基材がポリイミドフィルムのためフレキシブル性があり、また粘着層付のため、
立体物や曲面であっても、測定したい場所に手軽に貼り付けることができます。

プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ　PLAZMARK』

【製品種類】
[クリーニング用　実装工程／後工程向け]
○減圧プラズマでの処理効果を簡便にチェック
→配線銅めっき前の表面改質
→ワイヤーボンディング・パッケージング前のクリーニング
○UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用可能
[耐熱性ラベル型]
○色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、
　ラベル型でありながら高い耐熱性（200℃）を実現
○フレキシブル性、接着性があるので、基板表面や装置内に
　自由に貼り付け評価できる
[大気圧プラズマ用　常圧処理工程／洗浄工程用]
○新規有機色材の開発により、クリーニング用よりも高感度化を実現
○プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、
　大面積の大気圧（常圧）プラズマ処理のチェックに適している
○UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できる
[ウエハ型]
○ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、
　普段と同じハンドリングで装置に設置でき、簡単に面内分布を見える化できる

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

プラズマインジケータ特別価格販売のご案内

【No.102の特長】
■緩やかに変色する低感度ラインアップで、長時間処理や強力な処理の確認に
　適している。

　・色材：無機材料
　・基材：ポリイミド(粘着層付き)
　・形状：ラベルのみ
　・感度：低感度タイプ（No.101との比較において）
　・耐熱性：200℃

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『期間延長』プラズマインジケータ特別価格販売のご案内

プラズマ評価ツール「プラズマインジケータ」【サンプル進呈】

【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
♦プラズマを使う環境を教えてください。
　　１．真空（減圧）
　　２．大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
　　１．100℃以下
　　２．100～200℃
　　３．200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
　　１．アルゴン
　　２．酸素
　　３．それ以外

※どうぞお気軽に、サンプルお申し付けください。

プラズマ評価ツール「プラズマインジケータ耐熱性」【サンプル進呈】

【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
♦プラズマを使う環境を教えてください。
　　１．真空（減圧）
　　２．大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
　　１．100℃以下
　　２．100～200℃
　　３．200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
　　１．アルゴン
　　２．酸素
　　３．それ以外

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高額な装置、熟練作業は不要！プラズマインジケータ【サンプル無償】

【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
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　　１．真空（減圧）
　　２．大気圧
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　　１．100℃以下
　　２．100～200℃
　　３．200℃以上
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　　１．アルゴン
　　２．酸素
　　３．それ以外

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【PLAZMARK】処理強度に応じ変色するプラズマ効果確認ツール

【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
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　　１．真空（減圧）
　　２．大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
　　１．100℃以下
　　２．100～200℃
　　３．200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
　　１．アルゴン
　　２．酸素
　　３．それ以外

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プラズマ処理効果を「色で見える化」！セラミックタイプ

PLAZMARK(R) の特長の一つが、プラズマ密度により変色の濃淡が現れることから、
面内分布を簡単に評価できることです。これまで面内分布評価用に「シート型」を
ラインアップしていましたが、基材がフィルムでまた形状も長方形であったため、
ウエハプロセスには不向きでした。

この度、ユーザーがお使いのウエハサイズと同一形状のインジケータを商品化することにより、
普段と同じハンドリングで簡単に、プラズマ処理効果の面内分布を評価することが可能となりました。

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

至急度必須	通常至急
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目的必須	新規導入既存入れ替え試作検討情報収集
添付資料
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