最終更新日:
2024-01-18 10:33:32.0
正確なプラズマ測定できてますか？プラズマ処理のさまざまな評価・測定不良解決・効率アップ等、ケース別事例をご紹介。※事例集進呈
目に見えないからこそ、正確に測定したいプラズマ。
今まで手作業で測定していた方必見の、測定効率UPのご提案です。
『PLAZMARK』は、プラズマで変色する色材を用いた、プラズマ処理効果確認用インジケータ。
プラズマ処理強度に応じて徐々に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。
変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることも可能！
（ただし数値化には別途、色差計が必要です）
【PDFにて課題別の解決事例をご紹介！】
・月に1度くらいの頻度で不良が発生。手順は指導しているが、作業員によってばらつきがある。
・3次元形状をムラなく表面改質できているかどうか、確認方法に悩んでいた。
・自社製プラズマ装置に不具合がないか、原因究明を求められた。
・ラインごとの品質のバラツキを指摘され、毎日対応に追われている。
・プラズマクリーニングの効果確認の装置が高価で測定が面倒。
※事例については、PDFをダウンロードしてご覧ください。
基本情報
【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
♦プラズマを使う環境を教えてください。
１．真空（減圧）
２．大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
１．100℃以下
２．100～200℃
３．200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
１．アルゴン
２．酸素
３．それ以外
※どうぞお気軽に、サンプルお申し付けください。
| 価格情報 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ◆工程管理の効率アップ ◆機差把握 ◆分布測定 ◆装置の定期点検 など 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
詳細情報
デスミア用（開発中）
デスミア用も開発中（写真の色、形状やサイズは最終のものではありません）
デスミア用も開発中（写真の色、形状やサイズは最終のものではありません）
ウエハ型（開発中）
ウエハの表面にインジケータを焼成しているので、ウエハと同じハンドリングて設置できます。（写真の色は最終品と異なる場合があります）
ウエハの表面にインジケータを焼成しているので、ウエハと同じハンドリングて設置できます。（写真の色は最終品と異なる場合があります）
お問い合わせ
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株式会社サクラクレパス PI事業部
