サンユー電子株式会社

TMPタイプ 真空蒸着装置

最終更新日: 2024-03-27 22:50:37.0

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簡単操作のTMP排気システム採用!拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置

「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP+RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。
排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。
シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています
豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。
また、専用オプションにより、有機物の薄膜作製実験にも対応。
グローブボックス内設置に関するご相談も承ります(実績多数)。

【特長】
○コンパクトサイズ
○拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置
○簡単操作のTMP排気システム採用
○豊富なオプション
○グローブボックス内への設置も対応可能

【仕様】
[排気装置:SVC-700TMSG]
○排気操作:全自動
○到達圧力:2×10⁻⁴Pa以下
○蒸着用電極:2組
○ガラスベルジャー:内径φ160mm×215mmH
○寸法(W/D/H):340/460/544mm
[蒸着電源:SVC-7PS80]
○ヒーター電源:12V 45A/7V 80A
○寸法(W/D/H):340/410/205.5mm
価格情報 お問い合わせください
価格帯 100万円 ~ 500万円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 抵抗加熱式真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80
用途/実績例 【用途・実績例】
○電極用途等の各種金属材料の蒸着
○有機物蒸着実験(専用オプションが必要)
○グローブボックス内におけるLi等の蒸着
○真空実験 etc.

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