サンユー電子株式会社

多種金属対応 プログラマブルスパッタコーター

最終更新日: 2024-02-07 10:52:00.0

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Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター!

QUICK COATER SC-701HMC IIは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。
ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行なえます。

【特徴】
〇プログラマブルスパッタコーター
〇フルオート/マニュアルの2タイプの操作
〇シャッター標準装備

【仕様】
○ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al etc.
〇試料サイズ:φ70mm(Max)
〇排気操作:手動式
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
〇寸法(W/D/H):360/422/265mm
価格情報 -
価格帯 100万円 ~ 500万円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 QUICK COATER SC-701HMC II
用途/実績例 【用途】
○各種金属の成膜実験
○燃料電池用基礎実験

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