Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター！
「SC-701Mk II ADVANCE」は、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックコンパクトコーターです。
DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデルです。
各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。
【特徴】
○真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保
○スモール、コンパクト＆ハイスペック
○手動式シャッター標準装備
○専用試料台とステージで、簡単にT-S間距離をかえられます
○タングステンコートが可能なため、高分解能SEM用試料作製にも利用可
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【仕様】
○ターゲットサイズ：φ49mm／t0.5mm(Max)
○適用可能ターゲット：Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
○試料サイズ：φ50mm(Max)
○排気操作：手動式
○スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型
○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L/min（自動リーク付）
○寸法(W/D/H):200/450/290mm
○ターゲットサイズ：φ49mm／t0.5mm(Max)
○適用可能ターゲット：Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
○試料サイズ：φ50mm(Max)
○排気操作：手動式
○スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型
○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L/min（自動リーク付）
○寸法(W/D/H):200/450/290mm
| 価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | QUICK COATER SC-701Mk II ADVANCE |
| 用途／実績例 |
【用途】 ○各種デバイスの電極膜付け ○反射薄膜作製用途 等 |
関連ダウンロード
多種金属対応！業界最小クラスの超コンパクトコーターです。
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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