小型成膜装置!ターゲットは3種類同時に装着可能です。
マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。
ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。
【特徴】
○ターゲットは3種類同時に装着可能
○真空中にターゲットを選択でき、多層膜を作製可能
○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付可能
○排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続
→抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【仕様】
○放電形態:直流マグネトロン
○放電制御:定電流 30mA
○圧力制御:ニードルバルブによる手動制御
○プロセス時間:最大15min/タイマー制御
○プロセスガス:Ar(導入圧力 0.1MPa以下)
○プロセスガス導入口:Φ6mmワンタッチ継手(シンフレックスチューブ用)
○ターゲットサイズ:Φ49mm、t0.5mm(最大)
○ターゲット装着数:3種類
○適用可能ターゲット
→Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Ag、Pd、W、Ni、Mo、Cr、Ti、Al、Cu、Fe
○試料サイズ:最大Φ50mm
○試料選択:ステージ回転式
○ターゲット/試料間(TS)距離:20mm、30mm、40mm
○ターゲット選択:シャッター方式
○給電方式:単独給電切替式(電源パネル操作)
○排気系:ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min
○到達真空度:1×10⁻³Pa以下
○真空度測定:コンビネーション型真空計(電離真空計+ピラニー真空計)
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
○放電形態:直流マグネトロン
○放電制御:定電流 30mA
○圧力制御:ニードルバルブによる手動制御
○プロセス時間:最大15min/タイマー制御
○プロセスガス:Ar(導入圧力 0.1MPa以下)
○プロセスガス導入口:Φ6mmワンタッチ継手(シンフレックスチューブ用)
○ターゲットサイズ:Φ49mm、t0.5mm(最大)
○ターゲット装着数:3種類
○適用可能ターゲット
→Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Ag、Pd、W、Ni、Mo、Cr、Ti、Al、Cu、Fe
○試料サイズ:最大Φ50mm
○試料選択:ステージ回転式
○ターゲット/試料間(TS)距離:20mm、30mm、40mm
○ターゲット選択:シャッター方式
○給電方式:単独給電切替式(電源パネル操作)
○排気系:ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min
○到達真空度:1×10⁻³Pa以下
○真空度測定:コンビネーション型真空計(電離真空計+ピラニー真空計)
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コンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcel
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