実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置
☆金属薄膜は勿論、絶縁薄膜/酸化薄膜作製に対応した小型RFスパッタ装置☆
お薦めPOINT <実験目的にあわせたカスタマイズ!!>
1.試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意
2.カソードサイズは2〜6インチに対応
3.2インチカソードタイプは3源式にも対応 = 薄膜の積層を実現
4.多彩なオプションをご用意
基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc.
☆金属薄膜は勿論、絶縁薄膜/酸化薄膜生成に対応した小型RFスパッタ装置☆
お薦めPOINT <実験目的にあわせたカスタマイズ!!>
1.試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意
2.カソードサイズは2〜6インチに対応
3.2インチカソードタイプは3源式にも対応 = 薄膜の積層を実現
4.多彩なオプションをご用意
基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc.
お薦めPOINT <実験目的にあわせたカスタマイズ!!>
1.試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意
2.カソードサイズは2〜6インチに対応
3.2インチカソードタイプは3源式にも対応 = 薄膜の積層を実現
4.多彩なオプションをご用意
基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc.
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | SVC-700RFシリーズ |
用途/実績例 | 各種用途における絶縁薄膜/酸化薄膜生成 |
ラインアップ
型番 | 概要 |
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SVC-700RFI | 2インチカソード(デポダウン)専用 ベンチトップタイプ小型RFスパッタ装置 |
SVC-700RFII Type-I | 2~4インチカソード対応(1源) ※2インチは3源式対応 研究開発用RFスパッタ装置(出力300W) |
SVC-700RFII Type-II | 6インチカソード対応モデル 研究開発用RFスパッタ装置(出力300W) |
お問い合わせ
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