TVホログラフィー振動変位解析システム「MEMSMap510」は、面内振動(In-Plane)と面外振動(Out-of-Plane)を測定します。MEMS構造のモデリングや設計ではその微細構造の挙動が大きい構造物と異なるために解析は難しくなります。ダイナミックデバイスでは振動モードが熱の影響、空気圧変化や境界条件によりある周波数から別の周波数に急にシフトすることがあります。このため静的変形と振動の両方に関する面全体でのリアルタイムの情報が必要になります。「MEMSMap510」はマイクロストラクチャーの研究開発や製品テストに強力なツールとなります。ユーザーフレンドリーなソフトウェアで信頼性の高いデータを提供します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【特長】
○高周波対応1GHz(オプション)
○静的変形
○3D表示
○面全体リアルタイム測定
○In-Plane&Out-of-Plane測定
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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用途/実績例 | 【用途】 ○MEMS, MOEMS ○マイクロメカニカル構造 ○圧力センサ ○加速度センサ ○ジャイロスコープ ○ FFT スペクトラム ○振動モード解析 ○熱変形測定 ○ショック・センサ ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 |
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