有限会社シスコム(SysCom)

ナノ表面粗さ・形状計測器 ナノセブン

最終更新日: 2023-08-25 13:16:59.0
簡単操作、非接触、迅速、高分解能、低価格のナノ表面粗さ、段差形状測定装置。防振台不要でラインでの全数検査も可能。

光ヘテロダイン干渉計測を利用したコンパクトで、振動に強く、高さ分解能が0.1ナノと高精度な測定を提供する表面粗さ・形状測定システム。
計測時間も大幅に短縮でき、防振台不要でラインでの全数検査もできる。
広範囲の計測が可能で多点計測や大型試料にも適用可能。

<主な特長>
1)低価格で計測時間の大幅短縮
2)高分解能 高さ方向0.1ナノでAFMと互換性保持
3)試料対象物への前処理や真空不要の簡単計測で防振台も不要
4)広範囲計測可能
5)光ヘテロダイン干渉計測で外部からの振動を相殺 等

基本情報

計測方式:光ヘテロダイン干渉計測
高さ分解能:0.1nm
基準高さ計測範囲:0.5~300nm
基準計測範囲:X軸45mm Y軸45mm
粗さ Ra:0.1~50nm、段差1~150nm
スクラッチ、形状等
本体寸法:W313xD614xH428mm、重量27Kg

価格帯 500万円 ~ 1000万円
納期 お問い合わせください
※ 2-3ケ月
型番・ブランド名 ナノセブン TN-A1
用途/実績例 エレクトロニクス、半導体、自動車、マイクロテクノロジー、フィルム
精密工学、医療分野、データストレージ、セラミック・・・・

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