プローブ針:先端半径0.1μmの極小ターゲット用、高温プロービング用等プロービングの目的、ターゲットに合わせた各種プローブ針が用意されています。既にご使用されているプロービングシステムの交換用プローブ針としてご利用頂けます。
プローブホルダ:プローブ針を先端にセットしマニピュレータに組み合わせます。ケルビン接続やコアキシャル及びトライアキシャル仕様、またその両方の機能を備えた仕様の製品も用意されています(例:ケルビン接続のトライアキシャル仕様)。
マニピュレータ:先端にプローブ針を装着したプローブホルダを取り付け、ターゲットにプロービングを行います。マグネット及びバキューム吸着ベースの2種類用意されています。
基本情報
モデル7シリーズプローブ針:先端部材質:タングステン、Shank部Dia.: .020インチ
7シリーズのモデル例:
モデル7A:精細なプロービング用。
Point Radius :0.35μm, Tip Dia. : .005インチ
モデル7S:最柔軟性、高温プロービングにも最適。
Point Radius :0.35μm, Tip Dia. : .005インチ
モデル7X:極小ターゲット用。
Point Radius :0.1μm, Tip Dia. : .003インチ
モデル7B:高耐久性、一般プロービング用(針先まで一体化)
Point Radius :0.5μm, Tip Dia. : .020インチ
プローブホルダ:
モデル79-8000-TD-03 Kelvin Triaxial Probe Holder:
ケルビン接続のトライアキシャル仕様。ホルダの先端で同軸ケーブルが結線されています。
コアキシャル仕様もあります。
価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
---|---|
納期 | ~ 1ヶ月 |
用途/実績例 | ・半導体デバイス解析用プロービング、Failure Analysis ・デバイスの温度特性評価 ・デバイスの信頼性評価 ・高周波500MHzまで対応 ・ライフ・サイエンス ・シリコンウェハーでのプロービング検査 |
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