最終更新日:
2024-05-20 08:53:21.0
薄膜プロセス中の製品の温度測定用に専用設計された温度測定システム
フルーク・プロセス・インスツルメンツ社（旧社名Datapaq、データパック）の成膜プロセス・真空プロセス専用の温度測定システムは、温度データロガーを熱から守る専用設計耐熱ケースを使用することで成膜装置内に投入することが可能です。真空での使用に特化することで耐熱ケースの小型化に成功し、既存品の耐熱ケースでは寸法的な制約から使用することができなかった様々な成膜装置での製品温度測定を実現します。データロガーDP5シリーズはユーザーによる電池交換が可能になり、TCOの削減・ダウンタイムの最小化を実現しました。
基本情報
フルーク・プロセス・インスツルメンツ社では各種産業・用途向けに温度測定ロガーシステムを提供しております。真空中の成膜プロセス等に向けに特化した耐熱ケースを開発することで大幅な小型化を実現し、成膜等の真空プロセス中での使用を実現致しました。製品の実温度を測定することで厳密なプロセス管理が可能になり、製品品質の向上に貢献いたします。真空装置メーカー様での、製品開発・装置組立後の調整、客先での装置据付調整での温度測定作業の簡略化にも大きく貢献いたします。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 1~3か月 |
| 用途／実績例 | レンズ、メガネ用レンズ、フィルム等への薄膜形成プロセス（蒸着、成膜、スパッタリング等）、太陽電池パネル・ガラス、ディスプレイパネル、スマートフォン等の電子デバイス向けガラス等への真空プロセス |
お問い合わせ
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